NanoHybrid zeichnet sich durch seine Vielseitigkeit aus. Das aktive Justage- und Testsystem kombiniert verschiedene Verbindungsmethoden, seien es Kleben, Laserschweißen oder selektives Löten. Zusätzlich lässt sich NanoHybrid für opto-elektronische Messungen einsetzen. Damit eignet sich NanoHybrid ideal für das Entwicklungslabor und die Kleinserie, sowohl in produzierenden Unternehmen als auch in Instituten.
In einer Entwicklungsumgebung bestehen vielfältige Anforderungen an ein aktives Justagesystem für opto-elektronische Bauteile und andere Präzisionsteile, deren Form und Leistungsumfang variieren.
Hochgenaues Positioniersystem
Bis zu 12 Justageachsen und eine ähnlich große Anzahl an unterstützenden Achsen genügen praktisch allen Anforderungen. Die Signale zur aktiven Justage sind nicht nur optische Leistung, sondern auch Polarisation, Strahldurchmesser, Wellenlänge und Bandbreite. Alle Justageachsen arbeiten mit linearen Encodern und erzielen Auflösungen von 5 nm. Dies reicht aus, um auch sehr sensitive Prozessschritte erfolgreich umzusetzen.
Die Vorteile von NanoHybrid
- Perfekte aktive Justagen
- Höchste Flexibilität der Konfiguration
- Umfangreiche Bibliothek für externe Messgeräte
- Ideal für Entwicklung und Kleinserien
- Speicherung aller Daten
- Graphische Darstellung
Herausnehmbare Werkstückträger positionieren die Bauteile im System, die mechanischen und elektrischen Schnittstellen für diese Träger sind stets gleich.
Zur Verbindung der Komponenten stehen mehrere Methoden zur Verfügung. Präzisionsdosiereinheiten bringen kleinste Mengen Kleber auf, die anschließend mittels UV-Strahlung oder auch thermisch gehärtet werden. Beim Laserschweißen werden mehrere Schweißköpfe eingesetzt, um die Energie symmetrisch einzutragen. Anstelle dieser Methoden kann auch selektives Löten mittels Laserstrahlung oder Bügel gewählt werden.
Eine zentrale Rotationsachse mit einer Aufnahme für Wafer und Einzelchips erlaubt das oopto-elektronische Testen von VCSEL, Silicon Photonics-Strukturen und anderen Komponenten, wie beispielsweise Modulatoren und CCD-Chips.
