NanoHybrid zeichnet sich durch seine Vielseitigkeit aus. Das aktive Justage- und Testsystem kombiniert verschiedene Verbindungsmethoden, seien es Kleben, Laserschweißen oder selektives Löten. Zusätzlich lässt sich NanoHybrid für opto-elektronische Messungen einsetzen. Damit eignet sich NanoHybrid ideal für das Entwicklungslabor und die Kleinserie, sowohl in produzierenden Unternehmen als auch in Instituten.

In einer Entwicklungsumgebung bestehen vielfältige Anforderungen an ein aktives Justagesystem für opto-elektronische Bauteile und andere Präzisionsteile, deren Form und Leistungsumfang variieren.

Hochgenaues Positioniersystem

Bis zu 12 Justageachsen und eine ähnlich große Anzahl an unterstützenden Achsen genügen praktisch allen Anforderungen. Die Signale zur aktiven Justage sind nicht nur optische Leistung,  sondern auch Polarisation, Strahldurchmesser, Wellenlänge und Bandbreite. Alle Justageachsen arbeiten mit linearen Encodern und erzielen Auflösungen von 5 nm. Dies reicht aus, um auch sehr sensitive Prozessschritte erfolgreich umzusetzen.

Die Vorteile von NanoHybrid

  • Perfekte aktive Justagen
  • Höchste Flexibilität der Konfiguration
  • Umfangreiche Bibliothek für externe Messgeräte
  • Ideal für Entwicklung und Kleinserien
  • Speicherung aller Daten
  • Graphische Darstellung

Herausnehmbare Werkstückträger positionieren die Bauteile im System, die mechanischen und elektrischen Schnittstellen für diese Träger sind stets gleich.

Zur Verbindung der Komponenten stehen mehrere Methoden zur Verfügung. Präzisionsdosiereinheiten bringen kleinste Mengen Kleber auf, die anschließend mittels UV-Strahlung oder auch thermisch gehärtet werden. Beim Laserschweißen werden mehrere Schweißköpfe eingesetzt, um die Energie symmetrisch einzutragen. Anstelle dieser Methoden kann auch selektives Löten mittels Laserstrahlung oder Bügel gewählt werden.

Eine zentrale Rotationsachse mit einer Aufnahme für Wafer und Einzelchips erlaubt das oopto-elektronische Testen von VCSEL, Silicon Photonics-Strukturen und anderen Einhieten, wie beispielsweise Modulatoren.

Prozess-Software

Das Softwarepaket TestMaster führt alle Justageaufgaben durch. Es beschreibt den Ablauf der Prozesse, initiiert die Aktion der Instrumente zur dauerhaften Verbindung, erfasst alle Ergebnisse und Parameter. Seine leistungsstarke Bildverarbeitungsfunktion nutzt der Justage und der Qualitätskontrolle. Setzt man NanoHybrid zur Prozessentwicklung ein, lassen sich die erstellten Prozesse einfach auf Produktionssysteme transferieren.

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