Hochgenaues Positioniersystem

Ein hochpräzises Bewegungssystem mit Einstellmöglichkeiten in XYZ und Rotation bringt den Waferchuck in die jeweilige Messposition. Dort erfolgt die elektrische Kontaktierung. Eine seitlich zur Messposition angebrachte Kamera überwacht die Kontaktierung. Eine hochpräzise Stromquelle liefert über die elektrischen Probes den Betriebsstrom für die VCSEL im Test.

Bildverarbeitung zur Prozessunterstützung

Die zentrale Kamera oberhalb des Waferchucks nutzt die automatische Bildverarbeitung zum korrekten Positionieren des jeweiligen VCSEL. Ein Multimode-Lichtwellenleiter mit 50 µm Kerndurchmesser nimmt die abgegebene optische Strahlung auf und bringt sie zu dem Messkanal für die optische Leistung.

Die Aufnahme der LVI Kurve ist die grundlegende Messung, um die Qualität des VCSEL zu bestimmen. Ein optische Spektrum-Analysator ermittelt die spektralen Eigenschaften. Mit einem Netzwerkanalysator kann zusätzlich das Modulationsverhalten des VCSEL errechnet werden. Nicht zuletzt lässt sich auch das relative Intensitätsrauschen (RIN) messen.

Um Ergebnisse für den VCSEL bei unterschiedlichen Temperaturen zu erhalten ist der Chuck von -10° C bis 100° C temperierbar.

Prozess-Software

Das Softwarepaket TestMaster überwacht alle Funktionen des Prüfstandes legt die Messabläufe fest. Die Messwerte werden in einer lokalen Datenbank gespeichert und stehen zur weiteren Analyse zur Verfügung. Die lokale Auswertung der Daten und die Einordnung in Qualitätsstufen kann farbig codiert dargestellt werden – so sind die verwendbaren Zonen auf dem Wafer leicht zu erkennen.

TestMaster hat in der Standardkonfiguration bereits viele Schnittstellen, um externe Geräte wie optische Spektrum-Analysatoren, Sourcemeter und Netzwerkanalysatoren in den Messaufbau zu integrieren.


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