Metrology

Messtechnik

Miniaturbauteile erfordern entweder vollständig berührungslose Messungen oder Methoden mit minimaler Krafteinwirkung.

Zum Fügen und Justieren optoelektronischer Bauteile benötigt man Distanzmessungen mit einer Auflösung und Präzision in Sub-Mikrometer-Bereich.

Als Standardmethode steht das Kamerasystem zur Verfügung, das in jeder Arbeitsstation eingebaut ist. Bildverarbeitungsroutinen – darunter auch Autofokus – bestimmen die Abstände und Ausrichtung der Bauteile für das Greifen und die Vorjustage. Ein kalibriertes Zoomobjektiv erlaubt die Auswertung unterschiedlicher Vergrößerungen.

Konfokale Sensoren liefern Messergebnisse im Sub-Mikrometer-Bereich. Sie haben einen Messfleck mit kleinem Durchmesser, arbeiten schnell und zeichnen sich durch ihre kompakte Bauweise aus. Das ist besonders bei sehr feinen Strukturen von Vorteil.

Sofern die Objekte eine Kraft tolerieren, kommen auch taktile Sensoren zum Einsatz. Sie passen in nahezu jeden Aufbau und liefern schnelle und präzise Messergebnisse. Alterntiv setzt man Messbrücken mit Dehmessstreifen ein, um die Kontaktfläche zwischen Bauteilen zu bestimmen.

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